光学产品PVD前处理清洗线

u 人机界面，PLC自动控制系统u 水基环保清洗剂、DI水、IPA清洗脱水干燥等清洗工艺u 间接式导热油加热方式，全自动IPA检测、灭火装置,安全可靠u 机架及封闭外罩，Hepa高效过滤器防止二次污染u 采用多种超声波频率清洗,可达到高要求洁净度。